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射频发生器产生的高频功率通过感应工作线圈加到三层同心石英炬管上,形成高频振荡电磁场;在石英炬管的外层通入氩气,并进行高压放电产生带电粒子,带电粒子在高频电磁场中往复运动与其他氩原子碰撞,产生更多的带电粒子,同时温度升高,终形成氩气等离子体,等离子体的温度可达6000K~8000K。待测水溶液试样通过雾化器形成的气溶胶进入石英炬管中心通道,在高温环境下受到激发,发射出溶液中所含元素的特征谱线;通过对等离子体光源进行采光,并利用扫描分光器进行扫描分光,将待测元素的特征谱线光强准确定位于出口狭缝处,利用光电倍增管将该谱线光强转变成光电流,再经电路处理和模数变换后,进入计算机进行数据处理
ICP光谱仪,是根据试样中被测元素的原子或离子,对各元素进行定性和定量分析的仪器;该仪器具有样品用量少,应用范围广且快速,灵敏和选择性好等特点。
当然,该仪器也存在不能应用于有机物、对标准试样要求高、不宜作个别分析的缺点。其主要应用于地质普查、找矿;对于钢铁、冶金等部门,可进行生产控制分析和快速分析。特别是电感耦合等离子发射光源(如图)和多通道光电直读光谱仪,使原子发射光谱的应用得到了迅速的发展。
ICP测试的有效波长范围是120-800nm,其中120-160nm波段尤其适用于分析卤素或者某些特殊应用的替代普线。通常测试的样品后必须保持澄清,颗粒、悬浊物有可能堵塞内室借口或者通道;溶解液不能含有堆一起有损坏的成分,如HF、强碱等;相对于ICP-MAS,ICP-AES测试的级别为ug/L(ppb)。