ICP炬管是由三支同心石英管组成的，也都有三个进气管，分别进三股气流：冷却气、辅助气及载气。冷却气又称为等离子气。载气又称为进样气或雾化气，它把试液雾化并把气溶胶送入ICP光源。理想的ICP应该易点燃，节省工作气体及炬焰稳定。通用的ICP不足之处是耗气量，如果降低冷却气流量又容易烧毁。只有保持高频输入功率和等离子体消耗能量之间平衡，ICP炬焰才能稳定。

双通雾室 雾室利用雾化气溶胶的动能高效快速地清除掉液滴，同时减了液滴凝结的可能。与其它雾室设计相比，具有效率高、精密度好、冲洗速度快的特点。 *安装简单，使用方便 *体积，便于排空，记忆效应低

旋流雾室 雾室利用雾化气溶胶的动能高效快速地清除掉液滴，同时减了液滴凝结的可能。与其它雾室设计相比，具有效率高、精密度好、冲洗速度快的特点。 *安装简单，使用方便 *体积，便于排空，记忆效应低

复合雾室 雾室利用雾化气溶胶的动能高效快速地清除掉液滴，同时减了液滴凝结的可能。与其它雾室设计相比，具有效率高、精密度好、冲洗速度快的特点。 *安装简单，使用方便 *体积，便于排空，记忆效应低

喷雾器 ICP具有灵敏度高、精度好等突出优点 ICP雾化器具有的使用效率